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简介
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准分子激光器的原理和应用 组员:王卓彦、翁国斌、叶芊 什么是准分子? 准分子是一种在激发态复合成分子,而在基态离解成原子得不稳定缔合物,激光跃迁发生在束缚 的激发态到排斥的基态,属于束缚—自由跃迁。1970年,巴索夫等利用强流电子束泵浦液态氙,获得Xe激光振荡,其波长在176nm,这是第一台准分子激光器,稍后美国洛斯阿拉莫斯实验室报道了气相氙的激光输出,并在Kr(145.7nm)、Ar(126.1nm)获得激光输出。1974年美国Kansan州立大学 报道了稀有气体卤化物在紫外波段的强荧光辐射,这一结果引起了激光界的极大兴趣,短短六个月, 美国海军实验室便获得了溴化氙(282nm)激光输出,阿符科公司获得了氟化氙(351nm)、氟化氪 (248nm)、氯化氙(308nm)的激光输出,桑迪亚实验室则获得了氟化氢(193nm)的真空紫外输 出,每个脉冲能量达百焦耳以上。 什么是准分子激光? 准分子激光是一种气体激光, 它的工作气体是由常态下化学性质稳定的惰性气体原子如He 、 Ne 、Ar 、Kr 、Xe 和化学性质较活泼的卤素原子如F 、Cl 、Br 等组成。一般情况下,惰性气体原子是不会和别的原子形成分子的, 但是如果把它们和卤素元素混合,再以放电的形式加以激励,就 能成为激发态的分子,当激发态的分子跃迁回基态时,立刻分解、还原成本来的特性,同时释放出光子, 经谐振腔共振放大后, 发射出高能量的紫外光激光。这种处于激发态的分子寿命极短, 只有10ns , 故 称为“准分子”( Excimer)。 什么是准分子激光器? 准分子激光器是波长在紫外波段的脉冲气体激光器,近年来,在各方面的不懈钻研努力下,得以迅猛发展。目前,市场上推出的各种准分子激光器件产品在功率水平、寿命时间等指标上不断提高,适用范围也从原来主要用于实验室扩展到激光加工、激光医疗等领域,准分子激光器在今后的发展无论是从科研还是商业角度来讲都具有光明的前景,作为活跃的领域而不容忽视。 准分子激光器基本结构 激光器的谐振腔用于存储气体、气体放电激励产生激光和激光选模。 它由前腔镜、后腔镜、放电电极和预电离电极构成,并通过两排小孔与储气罐相通,以便工作气体的交 换、补充。为了获得均匀大面积的稳定放电, 一般的准分子激光器均采用了预电离技术, 在主放电开 始之前, 预电离电极和主放电的阴极之间先加上高压, 使它们之间先发生电晕放电, 在阴极附近形 成均匀的电离层。一般高压为20kV~30kV 。气体放电时,脉冲高压电源加在电极上对谐振腔内的工 作气体放电, 发生能级跃迁产生光子, 通过反射镜的反馈振荡, 最后产生激光从前腔镜输出。 准分子激光器的应用 目前准分子激光在眼科临床的应用主要包括两类: 一类是用于治疗近视、远视和散光的矫治屈 光不正手术。主要技术有准分子激光光学角膜切削术( Photorefractive Keratectomy,简称PR K) 和准分 子激光原位角膜磨镶术(Laser in situ keratomileusis , 简称LASIK) , 其中LASIK手术是目前发展最快, 普及最广,技术应用最强的治疗屈光矫正手术之一。另一类是准分子激光光学治疗性角膜切削术 ( Excimer laser phototherapeutic keratectomy,简称PTK) , 主要用于治疗角膜不规则散光、切除角膜浅层 瘢痕等。 准分子激光器眼科临床 激光治疗屈光不正手术在十多年的发展过程中, 随着高新技术的不断应用, 技术日趋完美。从早 期的大光斑扫描技术到现在广泛应用的小光斑飞点扫描技术, 解决了术后中心岛效应和角膜浑浊问 题, 能够获得完美的光学抛面, 使术面光滑、平整; 角膜地形图的应用和波前像差引导下的个体化切 削技术,使切削精度大大提高, 真正做到“量眼定做”; 主动眼球跟踪技术解决了术眼转动产生的角膜 偏中心切削, 使准分子激光始终处于角膜中心约6mm 大小的区域内进行渐进式切削, 提高了手术的 精确度。另外, 随着准分子激光治疗屈光不正手术发展起来的其他技术如角膜板层刀技术、计算机 辅助软件技术等等也有了长足发展,大大增强了手术的安全性。 准分子激光的切割 准分子激光的切割 ,与金刚石刀相比,切口位置及深度可精确控制,XeCl准分子激光 器用于使动脉粥样硬化斑块气化,具有边缘齐整且周围组织碳化极小的优点,可望取代心脏旁通术 和气球血管成形术。准分子激光在半导体参杂、激光诱导化学超导薄膜形成等方面的研究在广泛展 开。由于紫外激光束与物质相互作用的微细加工与冷加工的特点,成为继CO2激光器与YAG激光器 之后的新一代激光加工及激光医疗用激光器件。
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