mems应用文章PPT

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MEMS的应用 6.1 MEMS的应用 MEMS系统的代表——微型无人驾驶飞机 MEMS系统的代表——微型无人驾驶飞机 MEMS系统的代表——微型军用机器人 微型惯性测量组合MIMU 微型加速度传感器在侵彻武器引信中的应用 二、MEMS在汽车上的应用 压力传感器在汽车中的应用 加速度传感器在汽车中的应用 加速度传感器在汽车中的应用 三、MEMS在生化、医学上的应用 人工器官植入 体内显微手术、检查、释药 手术操作部分 手术观察部分与系统集成各种不同用途的微流控芯片 研究背景 PMMA微流控芯片制作及实验研究 PMMA微流控芯片制作 电流监测实验系统电渗流的测量和分析 1.PMMA微流控芯片制作热压法工艺流程图 2.微通道结构设计 3.PMMA微流控芯片制作 4.PMMA微流控芯片参数测量 5.电流监测实验系统 5.电流监测实验系统 6.电渗流的测量仪器与试剂：主要包括容量瓶、移液管、烧杯、玻璃棒、胶头滴管和精密电子天平等。所采用试剂为分析纯NaCl和二次蒸馏水，目的是配置不同浓度的NaCl电解质溶液。 6.电渗流的测量 6.2 MEMS的封装 1、封装设计 芯片级封装 器件级封装 2、封装工艺 1）表面结合 2）引线键合 热压键合 超声键合 热超声球键合 3）微密封工艺 4）先进封装——倒装焊 焊球阵列Ball grid array (BGA) 4）先进封装——多芯片封装（MCP） 4）先进封装——多芯片封装（MCP） 4）先进封装——模块式封装（MOMEMS） 5）插装元器件的结构 3、封装基片材料 陶瓷 环氧玻璃 金属本章重点难点本章学习要求cYc红软基地